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半導(dǎo)體潔凈機(jī)器人

在精度、速度和減少顆粒排放量方面，電子和半導(dǎo)體行業(yè)的要求尤為苛刻。 為了滿足其對機(jī)器人的需要，是專為半導(dǎo)體工業(yè)敏感環(huán)境設(shè)計(jì)了超高性能凈室機(jī)器人系列手臂。我們的機(jī)器人適用半導(dǎo)體硅片制造，并且精確度極高、速度極快、軌跡平滑。