雙腕玻璃基板搬運機器人
適用于真空環境內搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人！
產品詳情
大動作范圍：搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。
手臂采用連桿機構實現高鋼性。
采用真空內傳送帶驅動實現低放出氣體性能。
手臂可內置基板傳感器用配線。
技術參數：
雙腕玻璃基板搬運機器人
負載：95KG
動態范圍：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬運、潔凈室
項目 | 規格 | 備注 | |
名稱 | SEMISTAR-VD95D | ||
機型 | XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜) | ||
構造 | 水平多關節形(4個自由度) | ||
動作范圍 | L，R軸(伸縮) | 2300mm | |
S軸(旋轉) | -170°~+170° | ||
U軸(升降) | 150mm | ||
動作時間*1 | L，R軸(伸縮) | 3.2秒以下 | 2300mm伸縮距離 |
S軸(回轉) | 3.8秒以下 | 340deg旋轉距離(但L，R=0) | |
U軸(升降) | 2.5秒以下 | 150mm升降距離 | |
重復定位精度*2 | 各軸±0.3mm | 抓手安裝部分中心位置時 | |
手臂抖動精度 | ±0.3mm以下 | 水平方向，抓手安裝部分中心位置時 | |
負載 | 95KG/手臂 | 含抓手重量 | |
容許慣性力矩(CD2/4) | 最大118kg·m2 | 含抓手重量，抓手安裝部分中心位置時 | |
耐真空度 | 1*10-6Pa | ||
本體質量 | 1500kg | ||
適用控制柜式樣 | ERDR-VD0095D-A00 | 三相AC200V，3.0kVA | |
*1：動作節拍不保證帶有基板時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產生共振時，會影響動作節拍，請重新設定。
*2：依據JIS B8432標準的動作重復定位精度。但有無工件時負載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內。
注：圖文數據均以廠家提供為準。
